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分辨率： 0.5um；
测量范围: 500mm×600mm×400mm
示值误差：MPEE≤2.2＋L/300um
探测误差：MPEP≤2.2um
外形尺寸：950mm×1050mm×2300mm
最大载荷：500kg
564三坐标测量机采用国际先进的有限元分析设计方法，使其具有机械结构刚性强、几何误差小，具有高精度、高性能和高稳定性的优点。
机械整体结构采用刚性结构好、质量轻的全封闭框架移动桥式结构。其结构简单、紧凑、承载能力大、运动性能好。
固定优质花岗岩工作台，使其具有承载能力强、装卸空间宽阔、便捷。
Y向导轨采用燕尾式，定位精度高，稳定性能好。
三轴采用优质花岗岩，热膨胀系数小，三轴具有相同的温度特性，因而具有良好的温度稳定性、抗实效变形能力，刚性好、动态几何误差变形小。
三轴均采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的静压气浮式导轨，轴承跨距大，抗角摆能力强，阻力小、无磨损、运动更平稳。
横梁采用精密斜梁设计技术（已获专利），重量轻、重心低、刚性强，动态误差小，确保了机器的稳定。
采用国外进口反射式金属带状光栅计量系统，与大多数工件具有相近的热膨胀系数，确保了良好的重复精度。
驱动系统采用国际知名品牌的高性能直流伺服电机、齿形带传动装置，确保传动更快捷、更精准、运动性能更佳。
Z轴采用气缸平衡装置，极大的提高了Z轴的定位精度及稳定性。
控制系统采用欧洲知名坐标测量机专用数控系统，具有国际先进的上下位机式的双计算机系统，从而极大地提高系统的可靠性和抗干扰能力，降低了维护成本。
软件采用具有独立知识产权的、功能强大的三坐标测量软件包，其完善的测量功能和联机功能，为用户提供了完美的测量解决方案。
